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晶元半導體檢查顯微鏡

設備型號:MX8R

發布時間:2024-06-24

簡要描述:

MX8R晶元半導體檢查顯微鏡各項操作根據人機工程學設計,最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。

無限遠鉸鏈三通觀察頭

ETTR 型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實際方位一致,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于使用者觀察與操作。

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MX8R各項操作根據人機工程學設計,最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。

無限遠鉸鏈三通觀察頭

ETTR 型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實際方位一致,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于使用者觀察與操作。

長工作距金相物鏡

全新設計的長工作距物鏡,采用半復消色差技術,其使用的多層寬帶鍍膜技術,使整個視場內的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。長工作距設計,50X 物鏡的有效工作距離 7.9mm,100X 物鏡的有效工作距離也達到了 2.1mm,更有20X 超長工作距金相物鏡,大幅拓展了 MX 機型的應用領域。同步設計了全套明暗場兩用物鏡,適用于MX8R 機型,暗場照明亮度比傳統暗場物鏡提高 2 倍以上。

高性能物鏡轉換器

MX 機型的轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制,根據 MX 系列機型配置及功能的不同,可以選擇不同型號的轉換器。

明暗場反射照明器
帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置,適用于MX8R/MX8RT機型。

豐富的觀察方式,滿足您的檢測需求

明場觀察:遠心柯拉反射照明系統,配以全新設計的無限遠長工作距平場消色差金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質顯微圖像。

暗場觀察:將暗場照明拉桿拉到zhi定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷。內置衰減片,減少明暗場切換時光線劇烈變換對眼睛的刺激。

簡易偏光觀察:將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的zhi定位置,即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和 360°旋轉式兩種。

DIC 微分干涉觀察:在正交偏光的基礎上 , 插入 DIC 棱鏡,即可進行 DIC 微分干涉觀察。使用 DIC 技術 , 可以使樣品表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。可匹配帶 DIC 功能的物鏡,使整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色 , 高倍物鏡 DIC 效果也較好。

附件:       攝影 / 攝像附件:在三目觀察筒上,可以配接攝影攝像裝置,將雙目觀察到的圖像輸出至監視器或計算機,進行圖像分析、處理、保存或傳送。使用專用的 C 接口與中繼鏡,可以和數碼相機聯接,快速進行拍照,并獲取圖像。

多種干涉濾色片可選:   使用 12V100W 鹵素燈時照明時,可以選擇 LBD 日光型濾色片,能將光線過濾成自然日光的顏色,圖像背景柔和亮白。根據具體工業檢測的需要,可以選擇其他顏色的濾光片來對光線光譜進行調節,以獲得滿意的圖像效果。
                                                   

詳細技術參數

 

型號

MX8R

MX8RT

光學系統

無限遠色差光學系統

觀察筒

30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100(支持 25/26.5mm 視場)

30°傾斜,倒像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節 :50-76mm,三檔分光比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 視場)

5-35°傾角可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50-76mm,單邊視度調節:±5 屈光度,兩檔分光比 100:0 或 0:100(支持 22/23/16mm 視場)

目鏡

高眼點大視野平場目鏡 PL10X/22mm,可帶測微尺,可選視度可調

高眼點大視野平場目鏡 PL10X/23mm,視度可調

高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調,可帶刻度十字分劃板

高眼點大視野平場目鏡 PL10X/26.5mm,視度可調,可帶刻度十字分劃板

高眼點大視野平場目鏡 PL15X/16mm

物鏡

長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)

無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)

超長工作距明暗場半復消色差金相物鏡(20X)

轉換器

內定位五孔明暗場轉換器,帶 DIC 插槽

調焦機構

反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統,帶光亮度設定暗扭與復位按扭。

透、反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置 . 內置100-240V寬電壓系統,5W 暖色LED透射光照明系統,上下光獨立可控

載物臺

6 英寸三層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調節 ;平臺面積 445mm×240mm,反射照明移動范圍 :158mm×158mm ;透射照明移動范圍 :100×100mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動 ;玻璃載物臺板(透、反射用)

照明系統

明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像

0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調焦

其他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC 微分干涉組件。


 

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